下载一种基于钝化层离子注入方式的双极型器件的抗电离辐照加固方法的技术资料

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一种基于钝化层离子注入方式的双极型器件的抗电离辐照加固方法,属于电子技术领域。本发明目的是针对目前的双极型器件表面的氧化物俘获正电荷和界面态使得双极型器件的抗辐照能力减弱的问题。本发明所述基于钝化层离子注入方式的双极型器件抗电离辐照加固方法...
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