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一种产生高速流动SF6气体的装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:10144667
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一种产生高速流动SF6气体的装置及方法,该装置包括SF6气体充放与回收单元、SF6气体流速与压力调节单元和SF6气体流速与压力检测单元;SF6气体充放与回收单元包括:真空泵、压力表、SF6气瓶、储气罐、压缩机、高压储气罐和低压储气罐;SF6...
该专利属于沈阳工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过沈阳工业大学授权不得商用。
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