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体声波谐振器及其制造方法以及使用体声波谐振器的射频装置制造方法及图纸
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下载体声波谐振器及其制造方法以及使用体声波谐振器的射频装置的技术资料
文档序号:10135290
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提供了一种体声波谐振器(BAWR)。所述BAWR可以包括第一电极、设置在第一电极上的压电层以及设置在压电层上的第二电极。在各个方面,第一电极、压电层和第二电极中的至少一个由碳基材料形成。...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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