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本实用新型提供一种涂胶显影机，至少包括：涂胶单元；位于所述涂胶单元中部的光刻胶喷嘴；位于相邻所述涂胶单元之间的溶剂槽；位于所述涂胶单元纵向一侧的加热/冷却盘；以及位于所述涂胶单元和加热/冷却盘两侧的运行轨道以及装设于所述运行轨道上的机械手臂...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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