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本发明涉及一种改进线宽均匀性及减少通道中缺陷，并基于高电子迁移率晶体管的交换电路及微波集成电路。在制造基于高电子迁移率晶体管的交换电路和微波集成电路时，去除了影像场分界区或电路切割区中复合外延层材料以减小变形量而改进临界线宽的均匀性，从而达...
该专利属于石以瑄;邱树农;邱星星;石宇琦所有，仅供学习研究参考，未经过石以瑄;邱树农;邱星星;石宇琦授权不得商用。

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