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本发明提供一种不受基板Ｗ的下表面形状的影响即可容易地支撑基板Ｗ的基板支撑装置及支撑方法。上述支撑装置，包括多个支撑基板（Ｗ）的基板支撑部（２７），上述各基板支撑部（２７），包括通过与基板（Ｗ）的下表面（Ｗ２）接触可对应于基板（Ｗ）的下表面（...
该专利属于雅马哈发动机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过雅马哈发动机株式会社授权不得商用。

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