温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种偏差监测系统及偏差监测方法、等离子体加工设备，偏差监测系统用于监测被加工工件被置于支撑单元的上方时是否在标准作业区域和标准作业面，标准作业区域为在支撑单元的承载面上预设的放置被加工工件的区域；标准作业面为被加工工件被顶离支撑单...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。