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本发明公开了一种钕铁硼稀土永磁器件的磁控镀膜设备及制造方法，该镀膜设备包括真空镀膜室、圆柱磁控靶源、阳极层线性离子源、加热装置、转架和网状料筐；转架设计在真空镀膜室内，通过支撑轴固定在框架上，框架固定在在卧式真空壳体上，转架的轴线与卧式真空...
该专利属于沈阳中北真空设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳中北真空设备有限公司授权不得商用。

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