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本发明披露了一种用于使用两个分离开的具有不同特征的激光束对各种材料进行加工和成像的电子显微镜和FIB系统。第一激光束用于工件的大块材料清除和深沟槽蚀刻。第二激光束用于更精细的精密作业，如工件的微机械加工、小光点加工、或小热影响区的产生。该第...
该专利属于FEI公司所有，仅供学习研究参考，未经过FEI公司授权不得商用。

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