温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种MEMS压阻式加速度计，包括：衬底、边框、弹性梁以及通过弹性梁支悬于边框中心位置的主质量块、支质量块、上封帽、多组压敏电阻；所述边框固定于衬底上端；所述支质量块设置于弹性梁上，且与弹性梁构成异形弹性梁结构；所述弹性梁的中...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。