下载氮化硅烧结体及其制造方法的技术资料

文档序号:10077423

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本发明的氮化硅烧结体具有实质上无取向的晶体,热传导系数为100W/mK以上,而且按照JIS?R1601测定的常温三点弯曲强度为500MPa以上。该烧结体可以通过具备以下工序的方法来合适地制造:将含有氮化硅粉末的原料粉末在1400~1750℃...
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