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一种激光热成像设备，包括：配置成接收基板的基板载台；位于基板载台上方的光束照射单元，该光束照射单元被配置成将对准激光束照射到基板的对准标记上；以及与光束照射单元相对的光束观察单元，基板载台被设置在光束观察单元与光束照射单元之间，该光束观察单...
该专利属于三星显示有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星显示有限公司授权不得商用。

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