激光热成像设备和激光热成像方法技术

一种激光热成像设备，包括：配置成接收基板的基板载台；位于基板载台上方的光束照射单元，该光束照射单元被配置成将对准激光束照射到基板的对准标记上；以及与光束照射单元相对的光束观察单元，基板载台被设置在光束观察单元与光束照射单元之间，该光束观察单元被配置成观察对准激光束与由对准标记形成的对准标记的阴影。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术实施方式涉及激光热成像设备和激光热成像方法。
技术介绍
最近，有机发光二极管（OLED）显示器作为显示图像的显示装置已引起了广泛关注。OLED显示器中所包含的有机发射层可以通过使用执行激光诱导热成像（LITI）的激光热成像设备来形成。
技术介绍
部分中公开的以上信息仅用于增强对所描述的技术背景的理解，因此其可包括对本国本领域的普通技术人员公知但并非属于现有技术的信息。
技术实现思路
本专利技术实施方式涉及激光热成像设备，包括：配置成接收基板的基板载台；位于基板载台上方的光束照射单元；配置成将对准激光束照射到基板的对准标记上的光束照射单元；以及与光束照射单元相对的光束观察单元，基板载台被设置在光束观察单元与光束照射单元之间，该光束观察单元被配置成观察对准激光束与通过对准标记形成的对准标记的阴影。基板载台可以包括与对准标记对应的基板载台孔，并且光束观察单元被定位成与基板载台孔对应。光束观察单元可以包括：与基板载台孔对应并且用于以预定方向反...

【技术保护点】
一种激光热成像设备，包括：基板载台，配置成接收基板；光束照射单元，位于所述基板载台上方并被配置成将对准激光束照射到所述基板的对准标记上；以及光束观察单元，与所述光束照射单元相对，所述基板载台设置在所述光束观察单元与所述光束照射单元之间，所述光束观察单元被配置成观察所述对准激光束与由所述对准标记形成的所述对准标记的阴影。

【技术特征摘要】
2012.11.12 KR 10-2012-01275051.一种激光热成像设备，包括：
基板载台，配置成接收基板；
光束照射单元，位于所述基板载台上方并被配置成将对准激光束照
射到所述基板的对准标记上；以及
光束观察单元，与所述光束照射单元相对，所述基板载台设置在所
述光束观察单元与所述光束照射单元之间，所述光束观察单元被配置成
观察所述对准激光束与由所述对准标记形成的所述对准标记的阴影。
2.如权利要求1所述的设备，其中，
所述基板载台包括与所述对准标记对应的基板载台孔；以及
所述光束观察单元被定位成与所述基板载台孔对应。
3.如权利要求2所述的设备，其中，所述光束观察单元包括：
反射单元，与所述基板载台孔对应并且以预定方向反射所述对准激
光束；
观察相机，在所述预定方向上与所述反射单元相隔；以及
观察透镜，定位在所述反射单元与所述观察相机之间并被配置成放
大或缩小所述对准激光束。
4.如权利要求3所述的设备，其中，所述光束观察单元还包括：
中性密度滤光片，设置在所述对准激光束的照射路径中。
5.如权利要求1所述的设备，还包括：
激光掩模，设置在所述光束照射单元与所述基板载台之间并包括对
准图案部分，所述对准图案部分被配置成将从所述光束照射单元照射的
初始激光束划分成所述对准激光束。
6.如权利要求5所述的设备，还包括：
掩模载台，位于所述光束照射单元与所述基板载台之间并被配置成
接收所述激光掩模；以及
掩模对准相机，位于所述掩模载台上并被配置成确认所述激光掩模
的对准。
7.如权利要求5所述的设备，其中，所述激光掩模还包括：
成像图案部分，与所述对准图案部分相邻并被配置成将所述初始激
光束划分成被照射到所述基板...

【专利技术属性】
技术研发人员：明承镐，全镇弘，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：