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本发明公开一种干法刻蚀设备的下部电极基台和干法刻蚀设备，用以提供一种新型的用于放置衬底基板的下部电极基台，置于该下部电极基台上的衬底基板经干法刻蚀设备刻蚀后，可以避免衬底基板内部结构均匀性的破坏，避免显示器件发生印花(Embossing?M...该专利属于北京京东方显示技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京东方显示技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。