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一种大口径晶体缺陷检测方法及装置制造方法及图纸
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下载一种大口径晶体缺陷检测方法及装置的技术资料
文档序号:10074634
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一种大口径晶体缺陷检测方法及装置,涉及一种晶体缺陷检测方法及装置。以解决目前尚无使晶体在恒温状态下利用倍频效率测量方法检测晶体存在生长缺陷的方法及装置。将装有晶体的大口径晶体缺陷检测装置置于检测装置缺陷检测光路中;装置:铜环外固定有加热器,...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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