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本发明公开了一种离子注入机冷泵的控制方法，包括：服务器(1)、工控机(2)、冷泵控制器(3)、压缩机1(4)、压缩机2(5)、冷泵P1(6)、冷泵P2(7)、冷泵P3(8)、冷泵P4(9)和冷泵P5(10)，其中服务器(1)与工控机(2)之...
该专利属于北京中科信电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科信电子装备有限公司授权不得商用。

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