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本发明涉及半导体晶片加工过程中晶片精确定位的设备，具体地说是一种方型晶片对中结构，包括夹紧气缸、X轴夹紧块、Y轴夹紧组件、真空吸盘及支架，真空吸盘安装在支架上，方型晶片放在该真空吸盘上；方型晶片在X轴方向的两侧分别设有连接在夹紧气缸输出端的...
该专利属于沈阳芯源微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯源微电子设备有限公司授权不得商用。

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