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一种晶圆叉件安装方法，包括：提供一侧壁具有多个卡槽的移动端；提供至少一个晶圆叉件安装模具，所述晶圆叉件安装模具侧壁具有多个凹槽，所述凹槽的宽度与晶圆叉件的各个子叉件的厚度相等，相邻凹槽之间的间距为标准晶圆装置间距；在将晶圆叉件的各个子叉件固...
该专利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华虹宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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