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坩埚与坩埚硅材的装填方法技术
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文档序号:10072170
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本发明涉及一种坩埚与坩埚硅材的装填方法。此坩埚包括底板以及涂层。底板具有一表面。涂层设置在底板的表面上。此涂层包括相对的第一面与第二面,第二面与底板的表面接触。多个第一孔,设置于涂层上,且多个第一孔沿涂层的第一面朝第二面的方向延伸凹设。所述...
该专利属于茂迪股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过茂迪股份有限公司授权不得商用。
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