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太阳能电池中的具有可控厚度的硒化钼子层及其形成方法技术
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下载太阳能电池中的具有可控厚度的硒化钼子层及其形成方法的技术资料
文档序号:10070766
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本发明提供了一种太阳能电池,其具有钼背电极层和位于钼背电极上方的硒化钼欧姆接触层。硒化钼层包括精确控制的厚度。在钼背电极层和硒化钼之间存在明显的界面。通过在最初形成的钼层上方形成钼层或氮化钼层或钼氧化层来产生硒化钼层从而使得这两层之间存在界...
该专利属于台积太阳能股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台积太阳能股份有限公司授权不得商用。
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