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无掺杂GeSn量子阱的金属氧化物半导体场效应晶体管制造技术
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文档序号:10069778
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本发明提供一种带有无掺杂GeSn量子阱的pMOSFET。该MOSFET(10)的特征在于:在基底(108)上生长半导体材料(103),半导体材料(103)上面为GeSn沟道(101),在沟道和栅(106)之间是绝缘介电质薄膜(102),绝缘...
该专利属于重庆大学所有,仅供学习研究参考,未经过重庆大学授权不得商用。
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