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溅射设备和用于形成发光器件的透射导电层的方法技术
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下载溅射设备和用于形成发光器件的透射导电层的方法的技术资料
文档序号:10069494
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根据本发明的一个方面,提供了一种用于制造氮化物半导体发光器件的方法以及由此制造的氮化物半导体发光器件。所述用于制造氮化物半导体发光器件的方法包括步骤:在衬底上形成第一和第二导电类型氮化物半导体层,以形成包括有位于第一和第二导电类型氮化物半导...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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