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一种钨插塞和金属布线的制作方法，该制作方法通过在对光刻胶进行干法去胶工艺之后，使用水蒸气烘烤，以释放干法去胶工艺中积累在金属层和接触孔中的电荷，以此降低湿法去胶时，钨在酸液环境下引发的原电池反应，从而使得接触孔中钨插塞得以保留。因此大大提高...
该专利属于无锡华润上华科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡华润上华科技有限公司授权不得商用。

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