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一种酸性化学机械抛光液，包括研磨颗粒，氧化剂，水，所述抛光液还含有金属离子磨削促进剂以及溶解在抛光液中的螯合物，其中，所述螯合物具有含胺化合物作为配位体。该抛光液具有加工性能（如储存稳定性）或者对皮肤刺激性较少，改进了对存储器硬盘所用基片的...
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