温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种自动对焦高精度大行程精密定位工作台，包括电机、高精度滚珠丝杠、高精度滚珠丝杠下支承、支撑杆、压电陶瓷、三角式激光发射装置、高精度滚珠丝杠螺母、高精度滚珠丝杠上支承和台板。与现有技术相比，本发明在总体机械结构方面本技术采用了双...
该专利属于哈尔滨工业大学（威海）所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学（威海）授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。