【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种自动对焦高精度大行程精密定位工作台，包括电机、高精度滚珠丝杠、高精度滚珠丝杠下支承、支撑杆、压电陶瓷、三角式激光发射装置、高精度滚珠丝杠螺母、高精度滚珠丝杠上支承和台板。与现有技术相比，本专利技术在总体机械结构方面本技术采用了双联控制的方案使得平台具有在保证高精度的要求下同时还能有较低的成本，而且避免了直流电机在驱动时产生的震颤。本专利技术中利用的自动定位系统比现行技术更加稳定，不需要计算机的对比计算，尤其是本专利技术的结构简单、成本低、刚度高、可靠性高、使用方便，具有推广的价值。【专利说明】一种自动对焦高精度大行程精密定位工作台
本专利技术涉及一种精密定位对焦设备，尤其涉及一种自动对焦高精度大行程精密定位工作台。
技术介绍
东京工业大学研制了具有纳米级分辨率的一维直线电机驱动超精密工作台，它采用气浮导轨导向，行程300mm，导轨的垂直刚度600N/um，水平刚度220N/um。工作台重19.6kg，全部采用氧化铝陶瓷材料。直线电机驰动力160N，最大加速度6.4m/s2,最大速度320mm/s。反馈测量系统采用激光干涉仪，...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李从生，王延深，冯薇薇，雷岩，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学威海，
类型：发明
国别省市：
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