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一种三氯氢硅的等离子体制备方法及其制备设备。首先氢气与四氯化硅蒸汽按一定比例混合，然后将其预热到一定温度，预热后的混合气体经过等离子体反应器，产物随后经过冷却同时进一步发生反应，之后被冷凝为液体，冷凝后的产物最后收集并分离。本发明所述方法及...
该专利属于王红卫所有，仅供学习研究参考，未经过王红卫授权不得商用。

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