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石墨烯测序器件及其制造方法技术
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文档序号:10040607
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本发明公开了一种石墨烯测序器件,包括:位于衬底上的绝缘层;位于绝缘层上的石墨烯纳米带,具有晶界;位于石墨烯纳米带中的纳米孔,其中纳米孔与晶界共同构成石墨烯电极;以及位于纳米孔两侧的石墨烯纳米带上的金属电极。依照本发明的石墨烯测序器件及其制造...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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