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利用统计定时对多图案变化性建模制造技术
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文档序号:10040230
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本发明描述了用于在IC制造期间利用统计定时分析对多图案变化性建模的系统的方法。提供了在将计算机可执行代码有形地包含在计算机可读存储介质上的计算机基础结构中实现的方法,所述计算机可执行代码具有编程指令,所述编程指令可操作用来定义集成电路设计中...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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