下载一种分段式悬挂热屏的技术资料

文档序号:10032092

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本实用新型所述的一种分段式悬挂热屏,适用于直拉法硅单晶生产技术领域,特别是适用于电路级硅单晶的生产使用。所述的一种分段式悬挂热屏是由上热屏内层(1)和上热屏外层(2)组成的上热屏、由下热屏外层(5)和下热屏内层(6)组成的下热屏、钼挂钩(3...
该专利属于洛阳单晶硅有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过洛阳单晶硅有限责任公司授权不得商用。

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