下载沉积装置的技术资料

文档序号:10032055

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一种用于通过使用关于基板的掩膜执行沉积过程的沉积装置,所述沉积装置包括:室;在所述室中的支撑单元,所述支撑单元包括第一孔并且被配置为支撑所述基板;供应单元,被配置为向所述基板供应至少一种沉积原材料;和通过所述支撑单元的所述第一孔的能移动的对...
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