下载一种高可靠性的铜柱凸块封装方法及其封装结构的技术资料

文档序号:10022501

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本发明涉及一种高可靠性的铜柱凸块封装方法及其封装结构,属于半导体封装技术领域。其封装工艺如下:提供一带有芯片电极阵列及钝化层的芯片基体;在芯片基体表面沉积一介电层,并形成贯穿介电层的介电层通孔;在芯片电极的上方形成带有锡焊料帽的铜柱凸块,铜...
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