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本发明提出一种超纯气体全自动高精度充装系统，采用6N超纯气体全自动、高精度（质量精度优于0.5%）充装系统，包括超纯气源、超纯气体储罐、真空充装室、管路抽真空装置、真空室抽真空装置、废气回收处理装置、截止阀、加热带、制冷机、冷板、加热笼、科...
该专利属于北京空间机电研究所所有，仅供学习研究参考，未经过北京空间机电研究所授权不得商用。

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