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旋转溅射靶组件制造技术
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文档序号:10020403
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本发明利用共挤压或共拉拔工艺来将管状靶直接地结合到内背衬管上。共挤压或共拉拔工艺使外管状靶的内径和外径减小,以使靶的部分突入并且至少部分地填充入沿着内背衬管的槽中。该填充使靶互锁至背衬板。...
该专利属于普莱克斯技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过普莱克斯技术有限公司授权不得商用。
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