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本发明公开了一种基于微电子机械微波功率传感器的双通道微波功率检测系统及其制备方法，该系统结构非常简单，测量幅度范围大、不消耗直流功率；该系统是以砷化镓为衬底，在衬底上设计有共面波导传输线（A）、热电式MEMS微波功率传感器（B）和MEMS固...
该专利属于南京邮电大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京邮电大学授权不得商用。

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