【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种微电子机械双通道微波功率检测系统，其特征在于：所述检测系统是由砷化镓为衬底，在衬底上设有共面波导传输线、热电式MEMS微波功率传感器和MEMS固支梁电容式微波功率传感器组成；所述的热电式MEMS微波功率传感器是由共面波导末端并联的两个电阻、热电堆、输出电压检测端口和稳定热电堆冷端温度的金属块组成；所述的共面波导传输线是由中心信号线和地线组成；在所述的共面波导传输线上方的MEMS固支梁上面有一个正方形的质量块。
【技术特征摘要】
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