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发光二极管晶圆的制作方法及其晶圆、晶粒成品技术
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文档序号:10015789
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一种发光二极管晶圆的制作方法及其晶圆、晶粒成品,首先在透光晶圆的顶面形成具有对位构件、多个阵列的发光构件与交错排列而区隔出发光构件的预定切割道的磊晶层体;接着于透光晶圆相反于顶面的背面形成对应预定切割道的图案化光阻;再于透光晶圆的背面形成整...
该专利属于新世纪光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过新世纪光电股份有限公司授权不得商用。
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