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双层结构的非制冷红外焦平面阵列探测器制造技术
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下载双层结构的非制冷红外焦平面阵列探测器的技术资料
文档序号:10015352
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本发明涉及一种双层结构的非制冷红外焦平面阵列探测器,所述探测器由衬底、桥面层、至少一个桥腿层组成,为双层结构:上层桥面层与和下层桥腿层;所述桥面层由红外热辐射吸收层和热敏感层组成;所述桥腿层由支撑层和金属导电层组成;所述桥面层和桥腿层位于上...
该专利属于武汉高芯科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉高芯科技有限公司授权不得商用。
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