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本发明是有关于一种基板的沟槽加工工具及基板用沟槽加工装置，本发明的课题在于使工具相对于基板相对地往返移动而进行沟槽加工时，使工具的摆动角度较小，且良好地排出切削屑从而使加工品质稳定。本发明的沟槽加工工具由保持具17保持，且用于在基板上与保持...
该专利属于三星钻石工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星钻石工业股份有限公司授权不得商用。

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