离子注入机的监控装置和离子注入机系统，该监控装置包括操作面板和示波器，其中，操作面板包括输入部和输出部；输入部包括信号输入端和波形控制输入端；输出部包括第一频道信号输出端和第二频道信号输出端；示波器包括连接第一频道信号输出端的第一信道和连接第二频道信号输出端的第二信道。采用根据实用新型专利技术的监控装置，可以实现精确可靠的监控。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】离子注入机的监控装置和离子注入机系统，该监控装置包括操作面板和示波器，其中，操作面板包括输入部和输出部；输入部包括信号输入端和波形控制输入端；输出部包括第一频道信号输出端和第二频道信号输出端；示波器包括连接第一频道信号输出端的第一信道和连接第二频道信号输出端的第二信道。采用根据技术的监控装置，可以实现精确可靠的监控。【专利说明】用于离子注入机的监控装置和离子注入机系统
本技术涉及一种半导体生产领域中使用的离子注入机的监控装置以及具有该离子监控装置的离子注入机系统。
技术介绍
离子注入是集成电路制造中的一项非常重要的技术，利用离子注入机实现半导体的掺杂，即将特定的杂质原子以离子加速的方式注入硅半导体晶体内改变其导电特性并最终形成晶体管结构。对于离子注入机而言，离子注入机均匀性控制是注入机的关键技术之一。该项技术的原理是基于各种控制与测量方法和装置将离子按设定的剂量均匀地、精确地注入到整个晶片表面，如水平方向与垂直方向都采用电扫描方式，通过实时改变水平和垂直方向的扫描电压的大小来改变离子束水平移动速度和垂直移动速度，从而改变注入离子的分布密度。目前半导体生产线中常用的有美国Varian公司生产的350D中束流注入机，该注入机自带一个小尺寸CRT显示器作为束流波形的监控装置，该显示器能看1/X(X波形)，1/Y(Y波形)及X/Y (X与Y的李萨育波形)波形，但是不能够看X (+/-)、Y (+/-)的三角波波形。后来的改进型束流波形监控装置，其中增加看X (+/-)、Y (+/-)的三角波波形的功能，但相应的频率是不可调的，不能看多周期下的多重连续波，也无法看X (+/-)或Y (+/-)的互反三角波的李萨育图。此外，还有一种在350D上改进的注入机，其显示器装备有一体的通用的示波器，但是其示波器只能看连续波，未能看到单个X或Y束波波形，同时也无法看X (+/_)或Y (+/_)的互反三角波的李萨育图。综上所述，离子注入机需要采用束流波形监控装置对离子注入机的均匀性进行控制，但是现有的离子注入机的监控装置无法全面地观察各种波形，例如无法看到X (+/_)或Y (+/-)的互反三角波的李萨育图，因此无法及时发现三角波本身的失真变动，从而无法对产品的质量作全面的监控，产品质量的稳定性仍待提高。
技术实现思路
为了克服现有技术中离子注入机所使用的波形监控装置的不足，本技术提供了一种用于离子注入机的监控装置，监控装置包括操作面板和示波器，其中，操作面板包括输入部和输出部；输入部包括信号输入端和波形控制输入端；输出部包括第一频道信号输出端和第二频道信号输出端；示波器包括连接第一频道信号输出端的第一信道和连接第二频道信号输出端的第二信道。较佳地，示波器为具有X-Y输入模式的通用示波器。根据本技术的一个方面，信号输入端包括输入离子注入机的X+扫描电极板三角波反馈信号的第一端子、输入离子注入机的X-扫描电极板三角波反馈信号第二端子、输入离子注入机的Y+扫描电极板三角波反馈信号的第三端子、输入离子注入机的Y-扫描电极板三角波反馈信号的第四端子和输入离子注入机的剂量控制器的束流模拟信号的第五端子。根据本技术的另一个方面，监控装置的操作面板包括用1/X、1/Y和X/Y波形进行切换的波形切换开关部，波形切换开关部设有所述波形控制输入端。根据本技术的另一个方面，波形控制输入端包括分别连接离子注入机中提供波形控制信号的J、H、K信号接头的第一端、第二端和第三端。相应地，监控装置的操作面板包括对波形控制输入端的第一端、第二端和第三端进行切换的波形切换开关部，从而使得在1/X、1/Y和X/Y波形间控制切换，当波形切换开关部使J信号接头与K信号接头连通时，1/X波形被输出，当波形切换开关部使H信号接头与K信号接头连通时，1/Y波形被输出，当波形切换开关部使K信号接头同时与J信号接头和H信号接头断开时，X/Y波形被输出。根据本技术的另一个方面，监控装置的操作面板包括用输入信号进行切换的信号切换开关部，该信号切换开关部从尚子注入机的X+扫描电极板三角波反馈信号、X-扫描电极板三角波反馈信号、Y+扫描电极板三角波反馈信号、Y-扫描电极板三角波反馈信号和离子注入机的剂量控制器的束流模拟信号中作选择切换，并且将所选信号输出到第一频道信号输出端和第二频道信号输出端。更具体地，监控装置设置成输出到所述第一频道信号输出端的信号能够在X+扫描电极板三角波反馈信号、X-扫描电极板三角波反馈信号、Y+扫描电极板三角波反馈信号和Y-扫描电极板三角波反馈信号中任意切换，输出到所述第二频道信号输出端的信号能够在X-扫描电极板三角波反馈信号、Y+扫描电极板三角波反馈信号、Y-扫描电极板三角波反馈信号和离子注入机的剂量控制器的束流模拟信号中任意切换。根据本技术的另一个方面，输入部和输出部之间连接有波形和信号切换开关组，波形和信号切换开关装置包括:第一开关组，第一开关组具有:对X+扫描电极板三角波反馈信号和X-扫描电极板三角波反馈信号进行切换的第一切换部、和对Y+扫描电极板三角波反馈信号和Y-扫描电极板三角波反馈信号进行切换的第二切换部；第二开关组，第二开关组具有:对1/X和1/Y波形进行切换的第一切换部、对第一开关组的第一切换部的输出端和第一开关组的第二切换部的输出端进行切换的第二切换部、对X+扫描电极板三角波反馈信号和Y+扫描电极板三角波反馈信号进行切换的第三切换部、和对X-扫描电极板三角波反馈信号和Y-扫描电极板三角波反馈信号进行切换的第四切换部；第三开关组，第三开关组具有:对由第二开关组的第一切换部选择的1/X或1/Y波形的和X/Y波形进行切换的第一切换部、对第二开关组的第二切换部的输出端与第一开关组的第一切换部的输出端进行切换的第二切换部、和对离子注入机的剂量控制器的束流信号和第一开关组的第二切换部的输出端进行切换的第三切换部；以及第四开关组，第四开关组具有:对第三开关组的第二切换部的输出端和第二开关组的第三切换部的输出端进行切换的第一切换部，该第四开关组的第一切换部的输出端为第一频道信号输出端、和对第三开关组的第三切换部的输出端和第二开关组的第四切换部的输出端进行切换的第二切换部，第四开关组的第二切换部的输出端为第二频道信号输出端。具体而言，当波形控制输入端包括分别连接离子注入机中提供波形控制信号的J、H、K信号接头的第一端、第二端和第三端时，第二开关组的第一切换部在第一端和第二端之间进行切换，第三开关组的第一切换部设置成能够使第二开关组的第一切换部的输出端和第三端连通或断开。根据本技术的又一个方面，输入部和输出部之间连接有波形和信号切换开关组，波形和信号切换开关装置包括:第一开关组，第一开关组具有:对X+扫描电极板三角波反馈信号和X-扫描电极板三角波反馈信号进行切换的第一切换部、对Y+扫描电极板三角波反馈信号和Y-扫描电极板三角波反馈信号进行切换的第二切换部、对X+扫描电极板三角波反馈信号和Y+扫描电极板三角波反馈信号号进行切换的第三切换部、和X-扫描电极板三角波反馈信号和Y-扫描电极板三角波反馈信号进行切换的第四切换部；第二开关组，第二开关组具有:对1/X、1/Y和X/Y波形进行切换的第一本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：徐方明，赖庆宏，丁伯继，金红杰，
申请(专利权)人：杭州士兰集成电路有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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