微波谐振腔制造技术

本发明专利技术提供一种微波谐振腔(26)。所述微波谐振腔(26)包括：侧壁(42)，具有中空的大致柱形形状；气流管(46)，布置在侧壁内并具有大致与侧壁的纵轴平行的纵轴；多个波导管(24a-24c)，每个波导管具有大致与侧壁的纵轴垂直的纵轴，并具有固定至侧壁上并与在侧壁上形成的多个孔中的相应孔对正的远端；顶板(41)，固定至侧壁的一端；以及，滑动短回路(48)，该滑动短回路具有：滑动地安装在侧壁和气流管之间的圆盘(43)；以及，布置在侧壁内并与侧壁的纵轴平行的至少一根杆(50)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】微波谐振腔
本专利技术涉及等离子体发生器，尤其涉及一种具有用于在其中产生等离子体的谐振腔的系统。
技术介绍
近年来，微波技术被用于产生各种等离子体。在某些应用中，引燃和维持等离子体需要大功率微波发生器。由于存在以下的一种或多种缺点，现有的微波技术不适合，或者说效率不够高。首先，现有的系统没有适当的规模可变性，这里，规模可变性指系统以柔和的方式处理不同量的微波输入功率的能力或扩大/减小规模以适应输入功率的变化的能力。例如，根据待转化为等离子体的气体的类型、压力和流量，所需的微波输入功率可能有所不同。其次，磁控管的规格成本随输出功率的提高而急剧增加。例如，10千瓦磁控管的价格比10个I千瓦磁控管的价格要高得多。因此，需要一种具有高规模可变性、比现有的等离子体发生系统更廉价、并且不降低输出功率的等离子体发生系统。
技术实现思路
在本专利技术所揭示的一种实施方式中提供了一种微波谐振腔，包括:侧壁，具有中空的大致柱形形状，并由微波不能穿透的材料制成；气流管，布置在所述侧壁内，由微波能穿透的材料制成，并具有大致与所述侧壁的纵轴平行的纵轴；多个微波导波管，其中每个微波导波管具有大致与所述侧本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微波谐振腔，包括：侧壁，具有中空的大致柱形形状，并由微波不能穿透的材料制成；气流管，布置在所述侧壁内，由微波能穿透的材料制成，并具有大致与所述侧壁的纵轴平行的纵轴；多个微波导波管，其中每个微波导波管具有大致与所述侧壁的纵轴垂直的纵轴，并具有固定在所述侧壁上并与在所述侧壁上形成的多个孔中的相应孔对正的远端；顶板，由微波不能穿透的材料制成，并固定至所述侧壁的一端；以及滑动短回路，包括：由微波不能穿透的材料制成并滑动地安装在所述侧壁和所述气流管之间的圆盘，该圆盘具有紧密配装到所述侧壁中的外缘以及与所述气流管紧密配合的孔；以及布置在所述侧壁中并与所述侧壁的纵轴平行的至少一根杆，其中，通过沿所述侧壁...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.06.24 US 61/500,624;2012.06.21 US 13/529,1101.一种微波谐振腔，包括: 侧壁，具有中空的大致柱形形状，并由微波不能穿透的材料制成； 气流管，布置在所述侧壁内，由微波能穿透的材料制成，并具有大致与所述侧壁的纵轴平行的纵轴； 多个微波导波管，其中每个微波导波管具有大致与所述侧壁的纵轴垂直的纵轴，并具有固定在所述侧壁上并与在所述侧壁上形成的多个孔中的相应孔对正的远端； 顶板，由微波不能穿透的材料制成，并固定至所述侧壁的一端；以及 滑动短回路，包括: 由微波不能穿透的材料制成并滑动地安装在所述侧壁和所述气流管之间的圆盘，该圆盘具有紧密配装到所述侧壁中的外缘以及与所述气流管紧密配合的孔；以及 布置在所述侧壁中并与所述侧壁的纵轴平行的至少一根杆， 其中，通过沿所述侧壁的纵向移动所述杆，由所述顶板、所述侧壁和所述圆盘构成的空间能够得到调节，从而在所述气流管内形成微波谐振腔。2.如权利要求1所述的微波谐振腔，其中，所述气流管的一端与所述顶板对接，所述顶板具有用于接收流过所述气流管的气体的孔。3...

【专利技术属性】
技术研发人员：李相勋，
申请(专利权)人：雷卡邦股份有限公司，
类型：
国别省市：