The utility model provides a micro spring structure precise sensor, which comprises a nut, a base, a MEMS capacitance sensor, a micro induction head and a lead. Wherein, the MEMS capacitance sensor comprises a lower plate, an insulating medium, a micro spring and an upper polar plate from bottom to top, and the upper plate is fixed on the insulating medium by a micro spring. When the micro sensing head is stressed, the upper plate and the micro spring of the internal MEMS capacitor are driven, thereby changing the capacitance value, and finally realizing the conversion of the force value to the capacitance value and obtaining the weight of the object being measured. The micro mechanical system effectively changes the design size, making the sensor smaller and more precise.
【技术实现步骤摘要】
微弹簧结构精密传感器
本技术涉及传感器领域,特别是指一种微弹簧结构精密传感器。
技术介绍
目前国际上通用的称重传感器绝大部分是电阻式结构,是采用电阻应变片进行测量。应变片结构在低量程精密测量上存在无法克服的缺陷:应变片需要变形空间,无法缩小体积;同时应变片的温度漂移是无法克服的,并影响测量精度,特别是超精密测量更是无法达到更高等级的精度。本技术采用电容式结构:该结构感应部分是通过MEMS (Micro-Electro-MechanicalSystems,微机电系统)技术制造出来的微弹簧电容结构,通过电容的改变来实现被测物体重量信号的传递。
技术实现思路
本技术提出一种微弹簧结构精密传感器,解决了现有技术中电阻应变片式传感器的体积大和精度低的问题。本技术的技术方案是这样实现的:一种微弹簧结构精密传感器,包括:螺帽、基座、MEMS电容传感器、微感应头和引线;所述螺帽是由圆柱形侧壁和顶盖构成的下端开口部件,顶盖中间设有通孔;所述基座固定于螺帽下端开口处,基座上设有引线孔;所述MEMS电容传感器位于基座上;所述微感应头位于MEMS电容传感器上方,穿过顶盖的通孔伸出螺帽外,且微感应头与顶盖的通孔无接触,以避免产生干扰;所述引线一端连接MEMS电容传感器,另一端由引线孔引出基座外部。优选所述螺帽和基座分别设有螺纹,通过螺纹相固定连接。所述MEMS电容传感器由下至上依次包括:下极板、绝缘介质、微弹簧和上极板;所述上极板由微弹簧固定在绝缘介质上;所述引线分别连接在上极板和下极板上。优选所述微弹簧不少于三个,各微弹簧的一端沿上极板外沿均匀分布。这里采用的MEMS电容传感器上 ...
【技术保护点】
一种微弹簧结构精密传感器,其特征在于,包括:螺帽、基座、MEMS电容传感器、微感应头和引线;所述螺帽是由圆柱形侧壁和顶盖构成的下端开口部件,顶盖中间设有通孔;所述基座固定于螺帽下端开口处,基座上设有引线孔;所述MEMS电容传感器位于基座上;所述微感应头位于MEMS电容传感器上方,穿过顶盖的通孔伸出螺帽外,且微感应头与顶盖的通孔无接触;所述引线一端连接MEMS电容传感器,另一端由引线孔引出基座外部。
【技术特征摘要】
1.一种微弹簧结构精密传感器,其特征在于,包括:螺帽、基座、MEMS电容传感器、微感应头和引线; 所述螺帽是由圆柱形侧壁和顶盖构成的下端开口部件,顶盖中间设有通孔; 所述基座固定于螺帽下端开口处,基座上设有引线孔; 所述MEMS电容传感器位于基座上; 所述微感应头位于MEMS电容传感器上方,穿过顶盖的通孔伸出螺帽外,且微感应头与顶盖的通孔无接触; 所述引线一端连接MEMS电容传感器,另一端由引线孔引出基座外部。2.根据权利要求1所述的一种微弹簧结构精密传感器,其特征在于...
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