在混合气体中通过两个电极之间的放电对基体进行表面处理的方法和设备技术

技术编号:958526 阅读:163 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种这样的设备,该设备用于通过在可生成副产品(例如是粉末)的混合气体内的两个电极之间形成的放电来对一运动的基体进行表面处理,所说的副产品则会沉积在前述电极上,在所述设备中,所述电极中的一个是一辊子,基体可贴在该辊子上,提供了这样的装置,它用于使上述辊子和基体旋转并用于将混合气体注入所述电极之间,所述第二电极是一辊子,运动的基体也贴在该辊子上,该辊子按适当的间隙设置成与另一个辊子相平行。(*该技术在2018年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及到在受控的气体环境中通过电极之间的放电对运动的基体进行表面处理的方法和设备,所说的气体环境具体包括一种或多种能形成副产品的复合物,所述副产品会积累和/或沉积在前述放电电极上。举例来说,所述副产品可以是诸如粉末(例如就硅烷而言)之类的固体或者如就某些碳氢化合物而言是液体或是糊状的(例如形成具有脂肪族链的沉积化合物)。应该认识到,所述沉积物会累积到电极上并导致电极的变化,更一般地说,会影响系统的操作。按着所要进行的处理和预定的基体的不同,所述预定混合气体会有很大的不同,一般包括一种惰性运载气体和一种或多种来自还原和氧化气体的化合物,所以,上述混合气体的成份之一是这样类型的气体,它能形成副产品,这些副产品会在例如有硅烷或碳氢化合物的情况那样积累和/或沉积到放电电极上。本专利技术的“基体”例如呈片状或薄膜状或者是泡沫产品,按所述材料的不同,该基体可以是或不是连续的。本文所述的基体具体是不导电的基体,它由聚合物材料、“经过编织或未经编织的”纺织材料、纸质材料等构成。以聚合物薄膜为例,周知通常要对这些聚合物薄膜进行表面处理,以使它们的表面“活化”,也就是说,可以对该表面进行粘本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在混合气体中通过两个电极之间形成的放电来对运动的基体(3)进行表面处理的方法,其处于等于大气压力或接近大气压力下,混合气体可产生能沉积在所述电极上的副产品,其中,所述电极中的一个电极(9)是一辊子,所述基体可贴在该辊子上,提供了用于将混合气体注入所述电极之间的装置,其特征在于:使用了至少一个用于对基体(3)进行处理的工作台(1),每一工作台(1、2)均包括至少一对辊式电极(9、11)以及一注入器(32),该注入器用于将混合气体注入上述辊子之间,并且,按下述方式对基体进行处理:通过使所述基体贴到第一辊式电极上,使得该基体第一次连续地在两个辊式电极之间经过,在此,基体经历了第一次表面处理,然后...

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:阿兰维莱姆特弗朗索瓦克尔特帕纳约蒂斯科科罗斯贝恩德马腾斯埃克哈德普林茨于尔根萨尔加
申请(专利权)人:液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司索福塔尔电子有限公司
类型:发明
国别省市:FR[法国]

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