【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术涉及一种PECVD设备的
,尤其是一种电阻炉。其包括炉体、炉底、凹槽、电阻丝、保温层和耐火层,炉体与炉底连接,炉体由保温层和耐火层组成,炉底内设有凹槽,凹槽内设有电阻丝,电阻丝上方设有散热板。这种电阻炉结构简单、紧凑并且合理,装配方便快捷,连接可靠,高效节能,密封效果好,可以防止热量大量流失,减少了能源的浪费,延长了电阻丝的使用寿命,大大提高了电阻炉工作的可靠性,易于使用推广。【专利说明】电阻炉
本专利技术涉及一种PECVD设备的
,尤其是一种电阻炉。
技术介绍
现有的电阻炉热量容易向外散失,造成炉体内温度不均衡,影响热处理的效果,增加了能源的浪费,而且电阻丝的密封的空间里工作热量难以散发,致使电阻丝熔断,缩短了电阻丝的使用寿命。
技术实现思路
为了克服现有的电阻炉密封性差、能源浪费大以及电阻丝使用寿命短的不足,本专利技术提供了一种电阻炉。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种电阻炉,包括炉体、炉底、凹槽、电阻丝、保温层和耐火层,炉体与炉底连接,炉体由保温层和耐火层组成,炉底内设有凹槽,凹槽内设有电阻丝。根据本专利技术的另一个实施例,进一步包括电阻丝上方设有散热板。本专利技术的有益效果是,这种电阻炉结构简单、紧凑并且合理,装配方便快捷,连接可靠,高效节能,密封效果好,可以防止热量大量流失,减少了能源的浪费,延长了电阻丝的使用寿命,大大提高了电阻炉工作的可靠性,易于使用推广。【专利附图】【附图说明】下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明。图1是本专利技术的结构示意图。图中1.炉体,2.炉底,3. ...
【技术保护点】
一种电阻炉,包括炉体(1)、炉底(2)、凹槽(3)、电阻丝(4)、保温层(11)和耐火层(12),炉体(1)与炉底(2)连接,其特征是,炉体(1)由保温层(11)和耐火层(12)组成,炉底(2)内设有凹槽(3),凹槽(3)内设有电阻丝(4)。
【技术特征摘要】
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