【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种声音传感器,其特征在于,包括质量块和硅基体,所述质量块和所述硅基体上下表面之间分别通过压电膜和支撑结构连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:刘胜,付兴铭,徐涌,
申请(专利权)人:无锡慧思顿科技有限公司,武汉飞恩微电子有限公司,
类型:发明
国别省市:
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