【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种用于测量一维位移量的双向游标尺结构，该结构既可以测量正位移，也可以测量负位移。双向游标由左右两部分组成，其中左半部分的核心结构为“T”型头，右半部分的核心结构为“凸”型头，“T”型头和“凸”型头相对放置，并呈一定的偏移位置关系。“T”型结构的“—”所对应的矩形结构的两条长边是对准用的两根基线，“凸”型结构上的4条直线是另一组对准基线。当两个部分发生水平相向移动或相离移动时，“T”型头和“凸”型头的对准位置发生变化。通过该结构可以测量微机电器件在驱动作用下所产生的位移大小以及因微机电结构释放产生的形变位移大小。【专利说明】微机电双向游标尺
本专利技术提供了一种用于微机电器件及材料参数测量的双向游标尺结构，属于微机电系统(MEMS)测试
。
技术介绍
微机电器件中运动部件工作时的位移量，以及微机电材料参数测试中的位移量是反映器件与材料性能的重要参量，另一方面，这些位移量除和设计值有关外，还将受到加工过程的影响，这些由加工工艺所导致的不确定因素，将使得器件设计与性能预测出现不确定和不稳定的情况。实际位移量的测试目的就在于...
【技术保护点】
一种微机电双向游标尺，所述游标尺结构由左右两半部分组成，左半部分的核心结构为“T”型头，右半部分的核心结构为“凸”型头，每个“T”型头和其上下两边相邻的两个“凸”型头组成一组，每组之间的对准关系相差一定的偏移量，其特征在于：所述左半部分包括多个尺寸完全相同并顺时针旋转90度的“T”型结构，“T”型结构的底部部分为水平矩形（101），“T”型结构的顶部部分为竖直矩形（102），各个“T”型结构的底部（101）与一根竖直梁（100）连接，呈垂直关系，“T”型结构的顶部部分所对应的竖直矩形（102），其两条长边是对准用的基线，竖直矩形（102）的右侧长边为A基线，左边长边为B基线...
【技术特征摘要】
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