【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
同心圆光刻板，包括片状本体，所述本体表面设有涂层，所述涂层包括若干晶粒图形，所述晶粒图形包括第一矩形和第二矩形，所述第二矩形设在所述第一矩形内、且与所述第一矩形的中心一致；所述第一矩形具有四个第一圆倒角，所述第二矩形具有四个第二圆倒角；其特征在于，所述第一圆倒角和第二圆倒角的圆心一致。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：喻慧丹，裘立强，王毅，
申请(专利权)人：扬州杰利半导体有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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