液体涂覆装置和液体涂覆方法制造方法及图纸

技术编号:9384286 阅读:140 留言:0更新日期:2013-11-28 02:12
该液体涂覆装置(1)具有:基板供给部(R1),容纳装着涂覆之前的基板(4)的基板供给料斗(5);涂覆头(14),向已经被运送至作业位置的基板(4)涂覆液体(Q);和基板收集部(R2),容纳装着涂覆之后的基板(4)的基板收集料斗(5)。为了更换基板供给料斗(5),使基板收集料斗(5)从基板收集部(R2)移除,使已经安置在基板供给部(R1)中的基板供给料斗(5)移动至基板收集部(R2)以用作下一基板收集料斗(5),然后使新的基板供给料斗(5)安置在基板供给部(R1)中。该构造使得可以减少用于运输空料斗至涂覆装置和将空料斗运离涂覆装置的作业量。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:野野村胜阿部成孝
申请(专利权)人:松下电器产业株式会社
类型:
国别省市:

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