一种激光光束垂直度的检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种激光光束垂直度的检测装置，包括：分光镜将一测量光束分成第一透射光和第一反射光；平面测量镜反射由分光镜分出的第一透射光；分光镜反射由平面测量镜反射的第一透射光；角锥棱镜反射经分光镜反射的第一透射光；分光镜透射由角锥棱镜反射的第一透射光；第一反射光和由分光镜透射的第一透射光平行且同向地分别经过第一快门和第二快门；凸透镜聚焦通过第一快门和第二快门的第一反射光和由分光镜透射的第一透射光，以在图像传感器上形成两像点；图像传感器通过第一快门和第二快门的控制来观测两像点以获得测量光束的垂直度。本实用新型专利技术的硬件误差便于量化，便于补偿，从而达到更高的测量精度。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种激光光束垂直度的检测装置，其特征在于，包括：依次设置的图像传感器、凸透镜、第一快门、第二快门、分光镜、角锥棱镜和位于所述分光镜一侧的平面测量镜；其中，所述分光镜对一测量光束进行分光，将所述测量光束分成第一透射光和第一反射光；所述平面测量镜反射由所述分光镜分出的第一透射光；所述分光镜反射由所述平面测量镜反射的第一透射光；所述角锥棱镜反射由所述分光镜反射的第一透射光；所述分光镜透射由所述角锥棱镜反射的第一透射光；所述第一反射光和由所述分光镜透射的第一透射光平行且同向地分别经过所述第一快门和第二快门；所述凸透镜聚焦通过所述第一快门和第二快门的第一反射光和由所述分光镜透射的第一透射光，以在所述图像传感器上形成两像点；及所述图像传感器通过所述第一快门和第二快门的控制来观测所述两像点以获得所述测量光束对所述平面测量镜的垂直度。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：任胜伟，张宇明，张志平，吴萍，王珍媛，张记晨，池峰，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：实用新型
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