【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种投影物镜，其特征在于，所述投影物镜由高折射率材料形成的镜片和低折射率材料形成的镜片分配设置而成，其中，所述高折射率材料指ni?>?1.57的材料，包括折射率高于1.57的第一高折射率材料和折射率高于1.61的第二高折射率材料，采用第二高折射率的镜片需满足镜片径厚比不小于4，且不能位于接近物面和接近像面的镜片中；?所述低折射率材料指ni?
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：朱立荣，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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